廣東萬濠精密儀器股份有限公司
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特點：
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業領域。
特點：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動測量
4. 內建偏光測量光學模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
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型號 |
MTM-3020MA | ||||
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工作臺 |
金屬臺尺寸(mm) |
500 x 330 | |||
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玻璃臺尺寸(mm) |
350 x 250 | ||||
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X、Y軸運動行程(mm) |
300 x 200 | ||||
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手動Z軸行程(mm) |
120 | ||||
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自動Z軸行程(mm) |
2 | ||||
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外形尺寸(mm) |
825 x 660 x 910 | ||||
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儀器重量(kg) |
130 | ||||
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X、Y、Z軸分辨力(μm) |
0.5 | ||||
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自動Z軸分辨力(μm) |
0.1 | ||||
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示值誤差(μm) |
E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度，單位mm) | ||||
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物鏡放大倍數誤差 |
包括畸變在內的放大率誤差≦0.08% | ||||
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落射照明光源 |
可調高亮度鹵素燈 | ||||
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底光照明光源 |
可調高亮度LED燈源 | ||||
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目視系統 |
影像系統 | ||||
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物鏡放大倍數 |
5X、10X、20X、50X |
5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 | |||
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目鏡放大倍數 |
10X雙鏡筒 |
1/2”CCD攝像機 | |||
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視頻總倍率 |
50X ~500X |
142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) | |||
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單層透明膜厚度測量模組 | |||||
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高精度測量模式 |
快速測量模式 | ||||
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厚度測量范圍 |
100nm ~300nm |
300nm ~500nm |
500nm ~3μm |
3μm ~20μm | |
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分辨力 |
5nm |
5nm |
7.5nm |
0.1μm | |
